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| 微电子工艺中的清洗技术现状与展望 摘要：在科学技术的推动下，微电子工业获得了飞速发展，目前电子元件的集成度越来越高。电子产品在制造过程中受到不利因素影响，容易产生较多的污染物，会影响到电子产品的功能发挥，要进行有效的清洗才可以。文章先介绍微电子工艺中清洗技术的重要性，再分析目前现状并对未来技术发展进行展望，不断提升清洗技术水平，促进微电子行业更好发展。 关键词：微电子工艺；清洗技术；现状与展望 |
