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| 表面微结构对多晶黑硅太阳电池效率的影响 目 录 1 绪 论 1 1.1研究背景与意义 1 1.2 硅太阳能电池 4 1.2.1太阳能电池的原理 1.2.2太阳能电池的种类 4 1.3黑硅及黑硅太阳电池 7 1.3.1黑硅刻蚀方法 7 2 太阳能电池的工作原理及其模型 9 2.1 半导体的基本原理 2.1.1 半导体的能带 2.1.2 PN结 2.2 太阳能电池对光的吸收和反射 9 2.3载流子的分离机理 10 2.3.1 p-n结势垒 10 2.3.2肖特基势垒 12 2.3.3背表面场 12 2.4影响转化效率的因素 12 2.4.1入射光在接受器表面上的反射损失 13 2.4.2吸收时的光损失 13 2.4.3吸收后的能量损失 13 2.4.4电压因子 13 2.4.5复合所造成的损失(Jc产生的少数载流子的收集效率) 13 2.4.6元件内阻所引起的损失 14 3表面微结构对黑硅电池光电性能的影响 17 3.1原硅片制绒 20 3.1.1溶液配比对制绒速度与效率的影响 20 3.1.2制绒时长对效率的影响 23 3.1.3本节使用的表征设备 3.2.黑硅表面纳米结构的产生原理 27 3.3实验过程 27 3.3.1 制备黑硅太阳能电池 28 3.3.2 NaOH腐蚀时间对扩孔速度的影响 30 3.5结论 34 4 探索原子气相沉积法沉积AL2O3对电池性能的影响 35 4.1原子气相沉积法基本原理 4.1.1. ALD法 4.1.2. PECVD法 4.1.3. 其他方法 4.1.4 ALD--Al2O3氧化膜 4.1.5 工业化ALD技术 4.2探索ALD--- Al2O3实验最佳方案 35 4.2.1 探索ALD沉积温度对沉积层的影响 35 4.2.2 实验过程及结果分析 36 4.2.3 探索退火温度对沉积层质量的影响 37 4.3 探索沉积温度对沉积层质量的影响 39 4.4在PERC电池结构中比较 Al2O3和Al2O3/SiOx叠层性能 40 4.4.1 实验准备 40 4.4.2结果分析 42 4.5本章小结 44 5 结论与展望 45 5.1 结论 45 5.2展望 47 参考文献 48 |
