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| 非对称电极结构的六方氮化硼紫外特性研究 摘要 随着当下科学技术在各方面的快速发展，颇有百家争鸣之势，在这之中，紫外线探测技术渐渐的进入了人们的视野，它是继红外技术后产生的又一项高端新型的探测技术。近年来已经在我国的各个领域都有重大的运用，尤其是在天文、军事、环保等高科技领域【1-4】。关于这项技术有几个尤为核心的方面，那就是必须研制出高性能、高灵敏度和低噪音的高质量紫外探测器。并且近年来氮化硼因其优异的物化性质和半导体性质受到研究者们的广泛关注。但是在六方氮化硼紫外特性方面的研究不是很多，所以本文就非对称电极的六方氮化硼的紫外特性进行基础研究。因肖特基基础的MSM结构具有良好的表现，本次实验主要设计了叉指电极的形式，并对非对称电极结构中的不同电极宽度和不同形状是否对其紫外特性有影响进行了研究。主要测量了光响应度、暗电流和响应时间等方面的数据 关键词：六方氮化硼，肖特基，紫外探测 |
